2025-10-12
TaN是芯片制造中常见的薄膜材料,它与TiN性质和作用有相似之处,关于TiN薄膜见之前的文章: 晶圆TiN薄膜详解 今天我们就系统介绍一下TaN薄膜的性质、制备方法等方面的知识。 TaN是什么? TaN是一种重要的过渡金属氮化物。过渡金属氮化物还包括:TiN、CrN、HfN、ZrN等 物理性质 高熔点:TaN熔点高于3000°C,它能适用于高温环境。 高硬度:TaN是一种非常硬的材料,硬度可以达到30 GPa以上,是金刚石硬度的一半左右,是金属铜硬度的20倍。 高密度:约为16.4 g/cm³...